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罗茨真空泵

 罗茨真空泵是一种容积式真空泵,一对8字型转子在泵腔内以相反的方向同步旋转而完成吸气排气的。在工作过程中,转子与转子,转子与泵体之间始终保持必定的间隙,转子与转子间的间隙由一对同步齿轮调节,转子与端面间隙靠固定端的轴承调节,另一轴承自由游动。 罗茨真空泵最大的特点是在较低的入口压力下具有较大的抽气速率,但其排气口与进气口的压力差却不能太大(大泵压差约4000Pa,小泵压差约5000Pa),所以不能单独利用,需配置前级泵进行预抽,当入口压力达到必定数值时(-0.092MPa以上)方能启动。 罗茨真空泵抽气腔内无任何援助液体,对工艺气体不产生污染。真空泵抽气腔两端的轴承及齿轮需要油润滑,但油腔与抽气腔间有轴封隔开。 气体在罗茨真空泵内虽然不产生内压缩,但在排气时会产生外压缩,压缩热会使转子、泵体及真空油温度升高,所以除个别小抽气量罗茨泵无水冷外,均在油腔内加有水冷装置
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